最近韩媒《The Elec》爆料,三星打算把存储器芯片制造的光罩(photomask)生产外包出去!要知道,三星以前为了严防技术泄露,光罩都是自己全包生产。现在却开始评估i-line和KrF这类低阶光罩的供应商,这转变还挺让人意外。
目前进入评估名单的有Tekscend Photomask和PKL两家。Tekscend Photomask是日本Toppan Holdings旗下的,PKL则归美国光罩大厂Photronics。听说评估工作正在紧锣密鼓地进行,预计今年第三季度就能出结果。
三星为啥突然想外包?主要有两个原因。一方面,生产i-line和KrF光罩的设备太老旧了,好多都已经停产,备件都很难搞到;另一方面,虽然还是担心技术外流,但现在三星在低阶光罩技术上优势没那么明显了,外包带来的技术风险不算大。不过有意思的是,从成本角度算,其实自己生产反而更划算。
光罩按波长分有好几种:i-line用的是365纳米波长,适合画简单电路图;KrF用248纳米,能做中等精度的;更先进的ArF用193纳米,精度更高;最牛的EUV(极紫外光)只有13.5纳米,用来做超精细图样,是当下最尖端的技术。
有消息人士透露,三星打算通过外包,把原本投在i-line和KrF光罩的资源,全挪到ArF和EUV研发上。毕竟ArF和EUV光罩才是决定技术竞争力的关键,三星肯定想把精力都放在刀刃上。
现在芯片技术越来越卷,电路图样越做越小,用到的光罩数量也跟着暴增。就拿逻辑芯片来说,从10nm做到1.75nm,光罩数量直接从67张涨到78张;DRAM芯片以前也就用30到40张光罩,现在都超过60张了。再加上多重曝光技术普及,光罩用量更是只多不少。三星这次调整策略,看来也是想顺应芯片行业的新趋势。